碳化硅陶瓷是一種具有多種優(yōu)良特性的材料，其用途廣泛，主要包括以下幾個方面： 1、半導體設備：在半導體制造中，碳化硅陶瓷用于外延生長設備、刻蝕設備、氧化/擴散/退火設備等關鍵部件，因其能適應強腐蝕性和超高溫的環(huán)境。 2、國防軍工：除了防彈裝甲，碳化硅陶瓷還在其他軍事應用中發(fā)揮重